Lehrstuhl für Mikro- und Nanoelektronik

Der Lehrstuhl für Mikro- und Nanoelektronik befasst sich der Herstellung und Charakterisierung neuartiger nanoskaliger, funktionaler und niederdimensionaler Materialien. Durch gezielte Strukturierung, kontrollierte Defekte sowie den Einsatz von Heterostrukturen werden deren spezifische Eigenschaften maßgeschneidert und nutzbar gemacht. Auf diese Weise lassen sich vielfältige Phänomene, wie multiferroische, supraleitende, nanoionische oder photonische Effekte, durch Nanostrukturierung, Grenzflächeneffekte und Dotierung gezielt steuern. Zur Umsetzung dieser Arbeiten steht eine moderne CMOS-Technologielinie zur Verfügung, die es ermöglicht, die Potenziale verschiedener Herstellungsverfahren der Halbleiter- sowie Mikro- und Nanotechnologie optimal auszuschöpfen. Die grundlegenden physikalischen, elektronischen, chemischen und photonischen Eigenschaften der Materialien werden dabei bis hin zur nahezu atomaren Skala untersucht und modelliert. Auf Basis dieser Erkenntnisse entwickeln und analysieren wir innovative Werkstoffe, Bauelemente und Schaltungskonzepte für Anwendungen in der Informationstechnik, Sensorik, Photonik sowie in den Quantentechnologien. Wir sind Partner im Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland (ForLab) Verbund.